SIEMENS PLCシリーズ

制御システムの更新事例

真空装置

2015.08
装置概要 真空装置 SIEMENS⇔三菱 PLC間 PROFIBUS通信
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納入国 インドネシア
CPU ET200Sシリーズ  MELSEC-Qシリーズ
特殊機器/備考 三菱 PROFIBUS スレーブユニット
HMI